GB/T 14140-2009硅片直径测量方法
产品介绍
标准编号：GB/T 14140-2009硅片直径测量方
标准状态：现行
英文名称： Test method for measuring diameter of semiconductor wafer
替代情况： 替代GB/T 14140.1-1993;GB/T 14140.2-1993
中标分类： 冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料
ICS分类： 电气工程>>29.045半导体材料
发布部门： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期： 2009-11-30
实施日期： 2010-06-01
首发日期： 1993-02-06
提出单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
